近日,澳门新葡萄新京威尼斯987机电子公司慧翔电液半导体级直拉单晶超导磁场研发取得新突破——12英寸干式横向超导磁场首次突破5000Gs,这标志着慧翔电液成为国内首家能稳定量产5000Gs的MCZ超导磁体企业。
12英寸无液氦横向磁场
澳门新葡萄新京威尼斯987机电控股子公司慧翔电液,自2016年起便专注于磁性流体密封技术、半导体单晶炉用超导磁体系统、尾气处理装置等研发销售,技术和规模行业领先,是国家级专精特新“小巨人”企业。此次慧翔电液12英寸干式横向超导磁场突破5000Gs,打破了国内稳定量产中心磁场5000Gs的MCZ超导磁体企业为零的局面,奠定行业领先地位。
当前,国际上MCZ超导磁体制造企业以3000Gs-4500Gs为常规产品,实现更强磁场是行业重要突破方向。而在直径1600mm以上室温空间,产生高达5000Gs磁场,需要克服强大的电磁力并满足无液氦的运行条件,对超导磁体设计、制造工艺等诸多方面都是巨大挑战。本次慧翔电液自主研发的半导体级干式超导磁体中心磁场突破5000Gs,是多年来的技术沉淀与不懈创新的重大成果,意味着慧翔电液已具备与国际技术同步的超导磁体定制研发能力。
一直以来,澳门新葡萄新京威尼斯987机电始终聚力攻坚行业“卡脖子”技术难点,本次“5000Gs”的超导磁体到来,将极大地改善设备拉晶效果,为高端半导体拉晶工艺奠定基础,满足半导体行业直拉硅单晶工艺的差异化需求,助力客户创造更大效益。
未来,澳门新葡萄新京威尼斯987机电将继续秉承“先进材料、先进装备”的发展战略,抢占关键技术制高点,服务国家战略安全,敢为人先,敢于突破,展现国产制造企业的责任担当,为促进我国半导体产业高质量发展贡献更大力量。