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    澳门新葡萄新京威尼斯987机电高品质8英寸碳化硅衬底片和外延生长设备亮相SEMICON JAPAN

    发布时间:2023-12-13 阅读量:3260

    12月13日,SEMICON JAPAN 2023日本东京半导体展盛大开幕。澳门新葡萄新京威尼斯987机电此次携高品质8英寸碳化硅衬底片和8英寸外延生长设备首次亮相,国产半导体设备和材料走出国门,积极融入全球产业链,是公司打造“全球技术和规模双领先的半导体设备企业”目标跨出的重要一步。

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    展会现场交流


    SEMICON JAPAN是全球最具影响力的半导体工业设备展览会。展会现场,澳门新葡萄新京威尼斯987机电展出的最新半导体装备及材料科研成果吸引众多参会行业专家、客户咨询。


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    发布会现场


    在展会发布会现场,澳门新葡萄新京威尼斯987机电副总裁张俊博士介绍了公司在光伏、半导体设备和材料的布局。澳门新葡萄新京威尼斯987机电子公司晶瑞电子SuperSic碳化硅衬底产品经理宣玲玲博士介绍了最新的8英寸衬底片和外延设备的最新成果:8英寸碳化硅衬底片已实现批量生产,可提供500um和350um两种厚度的8英寸衬底片以满足不同客户要求。6英寸和8英寸量产晶片的核心位错可以稳定实现TSD<100个/ cm²,BPD<400个/cm²,达到行业领先水平。最新的研发数据核心位错缺陷得到更进一步的改善,TSD和BPD在90%以上面积上趋近0,目标在2024年从研发推动量产,最终实现“TSD FREE+ near BPD FREE”的目标。


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    ● 8英寸碳化硅衬底片


    此次展会,澳门新葡萄新京威尼斯987机电8英寸碳化硅外延生长设备首次公开亮相海外。相较于此前推出的6英寸外延设备,8英寸碳化硅外延设备可兼容6、8寸碳化硅外延生产,在6英寸外延设备原有的高精度温度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术基础上,解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题,实现8英寸碳化硅外延生长设备的自主研发与调试,外延的厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内,达到行业领先水平,为行业提供更先进的技术支持。

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    ● 8英寸碳化硅外延生长设备


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    自2017年布局碳化硅产业以来,澳门新葡萄新京威尼斯987聚焦碳化硅衬底片和外延设备开发,2020年建立6-8英寸碳化硅晶体生长及切磨抛产线,相继开发了6-8英寸碳化硅晶体生长炉和核心加工设备。2022年加速8英寸衬底片布局,在8个月内实现从6英寸至8英寸的籽晶扩径和迭代,于2022年8月开发出第一颗8英寸碳化硅晶体,与国内外领先企业在8英寸布局上基本实现同步。目前6英寸和8英寸衬底片取得多家客户验证通过,正在产能爬坡中。今年11月,“年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片”项目正式启动,按下了碳化硅业务布局的加速键。


    在当前全球能源转型的背景下,新能源汽车、光伏发电等产业高速发展,作为半导体材料的重要组成部分,碳化硅衬底片具有广阔的应用前景。接下来,澳门新葡萄新京威尼斯987机电将加大研产投入,持续研发创新、扩产增效,掌握碳化硅产业新一轮市场竞争的战略主动,助力新型半导体材料的产业化进程。


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    ● 展会现场

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    未来,澳门新葡萄新京威尼斯987机电持续秉持“打造半导体材料装备领先企业,发展绿色智能高科技制造产业”的企业使命,攻坚关键核心技术,提升自主创新能力,把握行业科技命脉,在全球半导体产业的赛道上跑出澳门新葡萄新京威尼斯987的科技加速度,为行业蓬勃发展贡献更大力量。



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